罕王微电子(辽宁)有限公司总裁黄向向: MEMS传感器在中国有很大发展机会[CSIA]
 
 
罕王微电子(辽宁)有限公司总裁黄向向: MEMS传感器在中国有很大发展机会
更新时间:2018/8/28 12:02:21  
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在高端传感器领域,目前全球市场主要被美国、日本、德国的几家龙头公司主导。国内高端传感器与国外相比差距很大,商业应用的中高端传感器产品基本上都是进口的。MEMS传感器对技术要求非常高,相应的,其制造难度也相当大。MEMS传感器涉及设计、仿真、生产,生产又涉及很多工艺、设备、材料,同时还要考虑产品的良率和可靠性,因此,大规模生产存在技术难点,这无疑成为国内传感器企业进入MEMS领域一道很难跨越的门槛。
  
  黄向向说,MEMS传感器是国际传感器产业的主流技术。它是用传统的半导体工艺和材料,以半导体制造技术为基础发展起来的一种先进的制造技术。因此,它与传统的IC工艺有许多相似之处,如光刻、薄膜沉积、掺杂、刻蚀、化学机械抛光工艺等,但是有些复杂的微结构难以用IC工艺实现,必须采用微加工技术制造。黄向向表示,MEMS传感器有70%的工艺和IC是一致的,但是两者又不完全一样:集成电路是二维的,它没有可动部分,MEMS传感器是三维的,所以决定了MEMS不会遵从摩尔定律。MEMS传感器的核心标准是:结构更可靠、功能更强、成本更低、更能规模化量产。MEMS传感器的特殊性使得它没有统一的标准,因此,商业运作上也带来一些困扰,即每一个产品在开发时都不同,都需要定制。因为它的不同,所以能够进行很多创新。此外,MEMS对设备的依赖性不像IC那么强,它对技术和工艺要求比较高,并不完全依赖设备,因此,不用投入像IC生产线那么巨额的资金。从这个角度说,MEMS传感器在中国有很大的发展机会。
  
  中国发展MEMS传感器要做到以下几点:第一,营造良好的市场环境,企业的生命在市场,市场和企业对接好才能促进企业发展。第二,资金问题,这也是产业发展面临的最大困扰。MEMS传感器的特点是投资大、周期长,从概念设计到产品成型,平均要经历二十多年时间,以陀螺仪为例,要经过二十七八年时间才能真正量产。因此,国家应该针对传感器企业规模小、品种多、技术要求高的特点,出台相应的资金扶持政策。她强调,政策不能太宏观,一定要精准,并能够落地。其实国内很多很好的政策,看起来很激动,但落实不了,企业仍享受不到政策红利。第三,人才储备。传感器及其产业的特点之一是技术密集,由于技术密集,也要求人才密集。高端传感器发展需要多方面人才,企业应加强人才的引进与培养。第四,多进行国际交流,在交流过程中不断吸取国际先进经验。
  
  2016年,罕王微电子收购Maxim(美信)公司MEMS传感器业务,从而获得了高端惯性测量单元的国际领先工艺技术,拥有了国际一流研发团队以及多项MEMS发明专利。可生产3轴及6轴陀螺仪和惯性测量单元产品、微硅麦克风、微硅红外传感器、体表波微硅滤波器和压力传感器等高端MEMS产品,同时还建立了位于4个国家的5个营销机构,不断拓宽国际化市场渠道。罕王微电子在辽宁沈抚新区建成填补国内空白、具有国际领先水平的8英寸纯MEMS传感器芯片规模化量产线,为客户提供一站式MEMS全产业链服务。黄向向表示,罕王微电子采用的“代工+定制服务”模式,就是要解决国内MEMS传感器量产的问题,罕王微电子有丰富的MEMS传感器产品化经验,能帮助用户实现量产化设计。黄向向介绍说,罕王微电子产品可广泛用于消费电子、汽车电子、工业控制、无人机、机器人、5G通信、生物医药、物联网、智能电网等领域。
 
来源:中国电子报        
 
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