北京科华248nm光刻胶通过中芯国际等客户认证,南大光电193nm光刻胶处于研发阶段[CSIA]
 
 
北京科华248nm光刻胶通过中芯国际等客户认证,南大光电193nm光刻胶处于研发阶段
更新时间:2019/5/29 15:20:18  
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今日,南大光电在互动平台上表示,参股公司北京科华开发的248nm光刻胶目前已通过包括中芯国际在内的部分客户的认证。
  
  此外,南大光电透露,193nm光刻胶处于研发阶段,产业化同步进行,进展顺利。公司组建专职的研发团队,建成1500平方米的研发中心和百升级光刻胶中试生产线,产品研发进展和成果得到业界专家的认可。成立了“宁波南大光电材料有限公司”,全力推进“ArF光刻胶开发和产业化项目”的落地实施。工厂建设完成了所有桩基工程,重要设备的购置正在洽谈中,项目产业化基地建设顺利。
  
  北京科华官网显示,它是一家中美合资企业,成立于2004年,产品覆盖KrF(248nm)、I-line、G-line、紫外宽谱的光刻胶及配套试剂,产品打入了中芯国际、华润上华、杭州士兰、吉林华微电子、三安光电、华灿光电、德豪光电等供应体系。
  
  南大光电被视作国产光刻胶希望之一,主要有MO源、电子特气、光刻胶三大业务板块。
  
  2015年9月,南大光电入股北京科华并对外宣称,双方将共同开展193nm光刻胶的研究与产品开发。
  
  当时,南大光电副总经理许从应表示,北京科华248nm光刻胶项目成功,为193nm光刻胶产业化提供了工程化团队与工程化技术的基础。193nm光刻胶在国际上是成熟产品,在现有基础上,通过国家支持以及北京科华和南大光电合作,引进人才等措施,193nm光刻胶产业化项目的成功是大概率事情。
  
  根据北京科华与南大光电的计划,2016年~2017年将完成193nm干式光刻胶的研发工作,产品达到客户送样验证要求,2018年产品通过客户验证;在193nm浸没式光刻胶方面,2017年~2018年完成研发工作,达到客户送样验证要求,2019年~2020年产品通过客户使用验证,而后逐渐形成批量销售。
  
  不过,双方的合作迟迟没有进展,直到2018年12月,南大光电宣布使用部分超募资金投资“ArF光刻胶产品的开发与产业化”项目。而在该项目中,也没有北京科华的身影。
  
  2018年1月,南大光电与宁波经济技术开发区管理委员会签订投资协议书,南大光电拟在宁波开发区投资建设高端集成电路制造用193nm光刻胶材料以及配套关键材料研发及生产项目;11月2日,该项目正式开工。
  
  据悉,该项目将形成年产25吨ArF(干式和浸没式)光刻胶产品的生产能力,项目总用地面积约86亩,其中一期总投资预计约9.6亿元,于2020年开始产业化,达产后年产值约3.75亿元。同时,南大光电还将建立国内第一个专业用于ArF光刻胶产品开发的检测评估平台。
 
来源:北京科华        
 
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