聚焦高端芯片设备战略,中微半导体投资上海睿励[CSIA]
 
 
聚焦高端芯片设备战略,中微半导体投资上海睿励
更新时间:2019/8/23 13:44:49  
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8月21日,中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“中微半导体”)发布公告称,拟对睿励科学仪器(上海)有限公司(以下简称“上海睿励”)进行投资,金额为1375万元,投资完成后中微半导体持股上海睿励股权比例约为10.41%。
  
  资料显示,上海睿励是国内集成电路工艺检测设备供应商,目前拥有的主要产品包括光学检测设备、硅片厚度及翘曲测量设备及子公司宏观缺陷检测设备等。其自主研发的12英寸光学测量设备TFX3000系列产品,已应用在28纳米芯片生产线并在进行14纳米工艺验证,在3D存储芯片上达到64层的检测能力。
  
  目前,上海睿励的产品已成功进入世界领先芯片客户3D闪存芯片生产线,并取得7台次重复订单,是目前进入该国际领先芯片生产企业唯一的国产集成电路设备产品。
  
  此前,通过投资国内薄膜设备公司沈阳拓荆科技有限公司,中微半导体在集成电路薄膜设备领域进行了布局,中微半导体指出,此次投资上海睿励,是公司聚焦并落实高端芯片设备战略的又一步骤,将进一步形成产业链协同效应。
  
 
来源:全球半导体观察        
 
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