三星首次将EUV技术应用于DRAM生产[CSIA]
 
 
三星首次将EUV技术应用于DRAM生产
更新时间:2020/3/26 13:44:29  
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据ZDnet报道,三星宣布,已成功将EUV技术应用于DRAM的生产中。
  
  三星已经出货了100万个使用EUV工艺制造的10nm级DDR4DRAM模块,并得到了客户的评估。三星表示,评估工作完成后,将为明年大规模生产新的DRAM铺平道路。
  
  三星在平泽工厂的EUV专用V2生产线将于下半年开始生产DRAM模块。该生产线预计将生产4代10nm级DDR5和LPDDR5。
  
  这是平泽工厂除7nm逻辑芯片外又一使用EUV技术生产的芯片,三星称,EUV技术将使其单个12英寸晶圆的生产效率提升一倍。
  
  三星、英特尔和台积电等全球半导体制造商预计都将扩大EUV技术在芯片生产中的应用。三星此前曾表示,计划利用EUV技术生产3nm芯片。
 
来源:ZDnet        
 
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