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上证报中国证券网讯（记者骆民）上海新阳公告，公司与北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司签署《合作框架协议》，双方将合作在北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司指定工厂搭建光刻胶验证平台，该平台由ArF光刻机和涂胶显影机组成，用于先进光刻胶验证；双方将在ArF（193nm）干法光刻胶产业化领域采取多样化的模式，开展广泛、深入的合作。未来公司将采购的用于193nmArF干法光刻胶研发的ASML-1400光刻机放置于合作方指定的地点，双方正在沟通协商光刻机入厂的底座安装及制作事宜，待底座安装完成后，光刻机即可进入合作方进行调试使用。预计光刻机进入合作方现场的时间是2021年3月底前。 |
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