上海新阳与北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司签订《合作框架协议》[CSIA]
 
 
上海新阳与北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司签订《合作框架协议》
更新时间:2021/1/6 13:58:29  
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上证报中国证券网讯(记者骆民)上海新阳公告,公司与北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司签署《合作框架协议》,双方将合作在北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司指定工厂搭建光刻胶验证平台,该平台由ArF光刻机和涂胶显影机组成,用于先进光刻胶验证;双方将在ArF(193nm)干法光刻胶产业化领域采取多样化的模式,开展广泛、深入的合作。未来公司将采购的用于193nmArF干法光刻胶研发的ASML-1400光刻机放置于合作方指定的地点,双方正在沟通协商光刻机入厂的底座安装及制作事宜,待底座安装完成后,光刻机即可进入合作方进行调试使用。预计光刻机进入合作方现场的时间是2021年3月底前。
 
来源:上证报中国证券网        
 
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